欧姆龙制氧机err11故障怎么解决

1. 伺服驱动器故障：可能是伺服驱动器内部元器件损坏或电源系统异常。解决方法是检查伺服驱动器内部的元器件，如有损坏则进行更换。如果驱动器内部故障严重，建议更换新的伺服驱动器。

2. 系统参数设置不当：不正确的参数设置或复位不彻底可能导致Err11故障。解决方法是检查并重新设置参数，确保参数设置正确。

3. 伺服电机损坏：伺服电机转子或定子损坏可能导致Err11故障。解决方法是检查伺服电机，如有损坏则更换转子或定子。

4. 电网问题：可能是电机或电缆损坏及驱动电路故障引起的。解决方法是检查用户电网情况，如电网电压和有无电焊机等对电网有污染的设备。如果驱动电路修复后，需检查马达及连接电缆，确保无故障后再运行变频器。

5. 电源问题：可能是开关电源损坏或软充电电路损坏导致直流电路无直流电。解决方法是检查启动电阻和操作面板，如有损坏则进行更换。

6. 电路问题：可能是输入缺相、电路老化或电路板受潮引起的。解决方法是找出电压检测电路及检测点，更换损坏的器件。

7. 电流检测电路问题：可能是电流检测电路损坏，如霍尔元件、运放电路等。需要检查并更换损坏的电流检测电路元件。

8. 驱动电路或逆变模块问题：可能是驱动电路或逆变模块损坏。需要检查并更换损坏的驱动电路或逆变模块。

如果以上方法都没有解决问题，建议联系专业的变频器维修和伺服电机维修人员进行维修。